Микроскоп инспекционный БиОптик IM-500, Инспекционные и измерительные микроскопы
Микроскоп применяется для визуального контроля кристаллов полупроводниковых микросхем и полупроводниковых приборов, установленных в корпус, контроля качества сборки микросхем и полупроводниковых приборов (внутренний визуальный контроль). Имеет возможность наблюдения в поляризованном, флуоресцентном свете, применения ДИК. Увеличенное рабочее расстояние. Даже объективы больших увеличений с рабочим расстоянием не менее 3 мм.
Микроскоп часто применяется как
арбитражный - для идентификации и классификации выявленных дефектов. К
таким микроскопам обычно предъявляются следующие требования:
- объективы со сверхдлинным рабочим расстоянием и увеличением от 2 до 1000 крат.
-
методы контрастирования в отраженном свете: темное поле, поляризованный
свет, флуоресценция, дифферециально-итерференционный контраст.
- окуляр со встроенным микрометром.
- оснащение цифровой камерой.
- возможность создания изображений путем покадровой съемки и "сшивания" кадров в панорамы.
Особенности:
- «Прямой» тринокулярный тубус (дает прямое, а не перевернутое изображение, удобно для работы с крупными подложками, которые необходимо регулярно перемещать)
- Возможность установки механического измерительного столика диапазоном перемещения 100х100 мм, точностью измерений до 0,001 мм.
- возможность установки моторизированного предметного столика с возможностью панорамного сканирования, диапазоном перемещения 50х50мм или 100х100мм, скорость перемещения 0,05-0,2мм/с, точность позиционирования 0,01 мм. Параллельность сканирования <10μм/100мм.
- возможность замены обычного механизма фокусировки на моторизированный механизм с автофокусом и пультом дистанционного управления. Точность позиционирования <0,01 мм. Тип соединения с управляющей станцией – USB. ПО для управления механизмом фокусировки с возможностью накопления стеков и последующей процедуры стекинга (3Dсканирование).
- ДИК система для увеличений 10х,20x,50х (объектив и ДИК призма)
- Возможность установки компактного флуоресцентного модуля на базе LED 5W. Наборы светофильтров и дихроичных зеркал под заказ. Производства OMEGA или CHROMA.
- Возможность установки модуля спектрофотометрии. Позволяет проводить фотометрирование образцов с оптическим разрешением до 0,78 nm. Автоматическое определение координат цвета и координат цветности различных объектов, создание банка данных различных объектов с автоматизацией поиска по цветовым характеристикам, универсальный цветоанализатор, дающий возможность определять цветовые характеристики различных микрообъектов и микроучастков макрообъектов. Диапазон чувствительности монохроматора 200-1100nm.
Микроскоп инспекционный БиОптик IM-500, --, IM-500, Инспекционные и измерительные микроскопы